產(chǎn)品Product
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普通的清洗方法一般不能達(dá)到孔內(nèi),而孔內(nèi)芯料的反應(yīng)生成物及其他污染物會(huì)在后序工藝中會(huì)產(chǎn)生重復(fù)污染。無論是采用有機(jī)溶劑或是清洗液清洗都容易引入新的污染源,然而利用超聲波清洗技術(shù)卻可以實(shí)現(xiàn)無重復(fù)污染,而且能深入MCP孔內(nèi)的效果。對(duì)不同材料及孔徑的MCP應(yīng)采用頻率、聲強(qiáng)可調(diào)的超聲波進(jìn)行實(shí)驗(yàn),以確定實(shí)際工藝參數(shù)。對(duì)孔徑6~12μmMCP的清洗,當(dāng)媒液為水和乙醇時(shí),可采用空化閾約1/3 W/cm2,聲強(qiáng)10~20 W/cm2,頻率20~120 kHz的超聲波進(jìn)行清洗。表1是同一段不同板號(hào)的MCP采用不同頻率超聲波清洗后表觀及電性能測(cè)試結(jié)果。由檢測(cè)結(jié)果可見,對(duì)1μm以下的小顆粒污染物,應(yīng)選用頻率40 kHz以上的超聲波進(jìn)行清洗
1、一體式設(shè)計(jì),緊湊,操作方便;
2、流動(dòng)式操作,避免產(chǎn)品刮花;
3、配置過濾系統(tǒng),有效節(jié)約水源;
4、配置清洗液循環(huán)系統(tǒng),清洗效果徹底,清洗效率超高;
5、配置油水分離及過濾系統(tǒng),提供清洗劑的利用率;
6、配置清洗、烘干功能;
7、頂部配置FFU空氣凈化單元,缸面設(shè)有抽風(fēng)系統(tǒng);













